防靜電工作臺(tái)
臺(tái)面：必須使用防靜電臺(tái)墊（通常為三層結(jié)構(gòu)，表面為耗散層，底層為導(dǎo)電層），并將其通過(guò)腕帶接地插孔可靠接地。
接地：工作臺(tái)應(yīng)有獨(dú)立的接地端子，方便操作者佩戴腕帶和設(shè)備接地。
人員防護(hù)（最關(guān)鍵的一環(huán)）
防靜電腕帶：操作敏感器件時(shí)必須佩戴，并通過(guò)限流電阻可靠連接到工作臺(tái)接地端子。
防靜電工作服/大褂、鞋/鞋套：避免化纖衣物，穿著專用的防靜電織物，將人體靜電導(dǎo)入地板系統(tǒng)。
防靜電手套/指套：直接接觸敏感元器件時(shí)使用。
儀器與設(shè)備接地
所有進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室的精密儀器（如SEM、AFM、光譜儀）、工作臺(tái)、機(jī)柜、推車等金屬設(shè)備外殼，都必須使用黃綠雙色接地線連接到實(shí)驗(yàn)室的共用接地網(wǎng)，實(shí)現(xiàn)等電位。
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